高强度金属三维MEMS制造技术是面向微米尺度、复杂结构金属微型器件的一种制造技术。目前使用精密机加工的方法很难制造出嵌套、镂空、高可靠性的复杂3维金属器件，尺寸更难达到微米量级，本项目提出一种高精度、高强度MEMS金属制造技术，以此来解决复杂动力机械结构(如微型高动力飞行器、医疗机器人机械手、微型散热器)等高精度、高强度动力机械结构制造中的基础核心技术，为复杂金属微结构的制造打下坚实的技术储备。目前项目在理论研发调研和加工工艺制备的基础上，采用金属牺牲层工艺制备的技术路线能够获得多层金属微结构件的一体化结构。这种技术路线可实现齿轮轴承与基底的制备，解决微齿轮批量化问题、装配精度问题。目前已经完成了一套完整的三层金属微齿轮全套工艺研发。后续本项目还将进一步进行样品行形貌测试和加工精度与一致性分析，并为微金属件的结构设计优化、工艺改进提供依据。在前期研究的基础上，面向复杂动力机械结构件的应用需求，本项目计划继续开展微型齿轮的制备及动力装置研制，进行微型齿轮啮合传动机构性能测试;同时设计并制备微型减速器的设计、制备及开发其控制系统对其进行性能验证。